Die Ozonröhre (Ionisationsröhre) besteht aus einem zylindrischen Isolator in Form eines dünnen, nicht leitenden, einseitig geschlossenen Glaskolbens, in dessen Hohlraum sich eine hülsenförmige metallische Innenelektrode anlehnt und der außerhalb von einer hülsenförmigen metallischen Außenelektrode umschlossen wird. Durch Anlegen von Hochspannung zwischen 1,5 kV und 2,85 kV entstehen Koronaentladungen, die eine diffuse Elektronenemission an die Luft abgegeben.